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曝光机

时间:09-12-30  热度:

睿龙作为一家有实力的反向技术研究公司,长期从事PCB抄板、反向解析、芯片解密、样机仿制克隆、样机制作、样机调试等领域的工作,在医疗设备、机械设备、自动化设备、广电设备、通信设备、仪器仪表设备、环保设备、印刷设备、家电设备、交通设备等领域成功完成了众多项目,深得客户的一致好评。半自动生化分析仪是睿龙在自动化设备领域的一个成功案例。

曝光机
  主要技术特点
  ※ 对准精度高,漂移小。精密楔形误差补偿机构实现找平,找平力小,延长掩模版使用寿命。 Z向采用空气轴承导向,气动驱动,实现了找平与分离的自动控制。在X、Y方面可进行大范围扫描观察。
  ※ 采用柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜等精密光学件,具有较高的光强、均匀性、光学分辨率。
  ※ 可进行单视场或双视场切换,提高对准效率和套准精度,同时兼容CCD成像显示功能。
  ※ 电气控制采用可编程控制器(PLC)、LCD显示屏,操作方便,汞灯电源易于触发,可靠性高。该设备的关键件采用进口或专业厂家制造,气动元件采用SMC的产品,提高了设备的稳定性、可靠性,同时提供个性化服务。
  主要技术指标
  □ 工作台行程:
  X/Y:±5mm(粗动)±0.1mm(微动)
  θ:±5°    扫描范围:30mm×30mm
  Z向行程:24mm
  □ 掩模尺寸:Max5″×5″
  □ 基片尺寸:Maxφ4″
  □ 基片与掩模微分离间隙:0~0.05mm
  □ 曝光系统: 采用350W超高压汞灯
  □ 曝光分辨率:1.5um(真空接触)
  □ 曝光时间:0~999s连续可调
  □ 曝光面积:φ110mm
  □ 曝光不均匀性:±4%
  □ 分离视场显微镜
  总倍率:100×(50× 可选)
  调焦范围:8mm
  物镜分离距离:28~90mm
  □ 所需设施:
  输入电压: ~220V±22V   50Hz±1Hz
  整机功率: 1.0kW
  压缩空气; 0.5~0.7MPa
  氮气:0.2~0.4MPa
  真空:-0.08~-0.1MPa
  □ 体积及重量:
  外形尺寸:     950mm×1000mm×1520mm
  重量:400kg

注:睿龙现诚挚对外转让其相关案例的全套技术资料并寻求项目合作,欢迎来电来访咨询、洽谈!